パルスレーザー堆積装置（PLD）1号機
Pulsed Laser Deposition PLD-No.1
主に熱電薄膜の成膜に使用するPLD装置。ターゲット材料にレーザーを照射し、基板上に薄膜を堆積させる。ガス雰囲気や真空雰囲気での成膜が可能。
保有装置
Thin Film Deposition
薄膜作製
パルスレーザー堆積装置（PLD）2号機
Pulsed Laser Deposition PLD-No.2
主にREBCO薄膜の成膜に使用するPLD装置。酸素雰囲気下でターゲット材料にレーザーを照射し、基板上に薄膜を堆積させる。
パルスレーザー堆積装置（PLD）3号機
Pulsed Laser Deposition PLD-No.3
大気暴露せずに試料を取り出せるようにグローブボックスがついたPLD装置。性能は2号機と同じ。Ar雰囲気での試料の取りつけ、取り出しが可能。
Synthesis machine
合成装置
自動乳鉢
Automatic mortar
REBCO超伝導体のバルク試料やターゲットを合成する際に使用する自動混合が可能な乳鉢。現在2台所有。
日陶科学
グローブボックス（美和製作所）
Glove box (Miwa Mfg.)
不活性ガス雰囲気で実験を行うための装置。
グローブボックス（GBJ）
Glove box (GBJ)
不活性ガス雰囲気で実験を行うための装置。2台目。637室に設置。
GLOVEBOX JAPAN
真空/ガスフロー3ゾーン管状炉
Tube furnace
酸素ガス雰囲気下でのアニールに使用する装置。
単結晶育成管状炉
Vertical tube furnace
ブリッジマン法を用いた単結晶育成を行うための装置。
封管用水素バーナー・封管装置
Hydrogen burner
石英菅の封管を行うための装置群。
電気炉
Furnace
バルク合成の際に使用する電気炉。約1000℃の高温で焼結、アニールが可能。
電気炉（大型）
Large Furnace
大型試料のバルク合成・焼結に使用する大型電気炉。2台所有。
粉末整形機
Powder Compacting Press
ターゲット合成の際などに使用する油圧プレスと金型。
ホットプレス装置
Hot Press machine
圧力をかけながら加熱してより密度の高い焼結体を作製することができる装置。主にバルク熱電物質の合成の際に使用する。
スピンコーター
Spin Coater
基板上に薄膜を均一に塗布するための装置。溶液系材料の薄膜作製に使用する。
Aiden SC8002
画像準備中
電気化学合成セル
Electrochemical Synthesis Cell
電気化学的手法により薄膜を合成するための装置。ポテンショスタット、セル、簡易グローブボックスで構成される。
Evaluation equipment
評価装置
熱電特性評価装置
Thermoelectric Property Evaluation System
バルク/薄膜試料の熱電特性評価が可能。
画像準備中
冷凍機システム
Cryogenic System
低温環境下での物性評価に使用する冷凍機システム。
NIMS Shared Equipment
NIMS共通機器 / センター共用
超伝導量子干渉計（SQUID-MPMS3）
SQUID Magnetometer (MPMS3)
磁化測定・臨界電流密度（Jc）評価に使用。
Quantum Design
DynaCool（PPMS）
Physical Property Measurement System DynaCool (PPMS)
電気抵抗・比熱測定に使用。
Quantum Design
MiniFlex デスクトップX線回折装置（XRD）
X-ray Diffractometer (XRD)
薄膜X線やより精密なX線回折パターンを得るために使用。
Rigaku
SmartLab 全自動多目的X線回折装置（XRD）
X-ray Diffractometer (XRD)
薄膜・バルク試料の結晶構造評価に使用。
Rigaku